http://warm-ir-indoor.com/cs/tags/oz%C3%B3n/ Recent content in Ozón on Indoor Warm IR Solutions Hugo cs Thu, 04 Jun 2026 00:52:31 +0800 http://warm-ir-indoor.com/cs/posts/ozone-free-infrared-lamp/ Thu, 04 Jun 2026 00:52:31 +0800 http://warm-ir-indoor.com/cs/posts/ozone-free-infrared-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-indoor.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Infračervená lampa bez ozonu"></p> <p>Na výrobní hale znáte postup: posun o 0,5 °C v teplotě vypalování může posunout kritické rozměry o nanometry, a než se nadějete, vyhazujete velké množství vadných kusů. Tradiční lampy navíc uvolňují ozón, který poškozuje optiku a zanáší komory. Počty částic rostou a vy musíte provádět neplánovanou údržbu. Vyvinuli jsme infračervenou lampu bez ozónu, aby tento faktor eliminovala.</p> <p><strong>Co je důležité pod kapotou</strong><br> Používáme krátkovlnné infračervené emitory naladěné na rychlou a přímou absorpci ve fotorezistu a substrátu, se spektrem upraveným tak, aby minimalizovalo generování ozónu. Během měkkého i tvrdého vypalování je tepelná uniformita na waferu udržována na ±0,1 °C, což stabilizuje viskozitu, tloušťku i hrubost hran linií. Sledování nastavené hodnoty probíhá pod 50 ms, takže řízení v uzavřené smyčce je přesné a tepelný rozpočet konstantní.<br> Konstrukce je připravená pro čisté prostory třídy 1–100. Montáž lampy nevytváří žádné částice a utěsněná křemenná baňka minimalizuje vývěry. Výstupní výkon zůstává stabilní přes 5 000 hodin s poklesem intenzity pod 5 %, což umožňuje nepřetržitý provoz bez nutnosti kalibrace.</p>