Bei der Verteilung der Wärme ist das wichtigste Kriterium die Kontrolle der Temperatur. Während des Aushärtens des Epoxidharzes entstehen Hotspots, während des Backvorgangs des Fotoresists kann es zu Veränderungen in der Temperatur kommen. Dadurch wird es schwierig, die Linienbreite sowie die Koordinaten der Bauteile unter Kontrolle zu halten. Der Heizer muss daher eine konstante Temperatur liefern – für jedes Bauteil, jede Charge und jeden Schichtwechsel.
Was wirklich wichtig ist
Wir haben den Heizer für die Verteilung der Wärme auf Kurzwellen-Infrarot-Halogenquarzemitter basierend ausgestaltet. Es handelt sich dabei um eine schnelle Oberflächenheizung, wodurch die Temperatur genau kontrolliert werden kann. In der aktiven Zone liegt die Temperaturkonstanz bei ±0,1°C – gemessen an blankem Silizium mit Thermoelementen. Die Reaktionszeit beträgt Sekunden, was bei der Steuerung des Backvorgangs entscheidend ist. Ein Reinraumstandard von Klasse 1–100 wird durch ein Design mit geringer Gasemission sowie keine Partikelbildung während des Betriebs gewährleistet. Im Einsatz kann der Heizer rund um die Uhr arbeiten, ohne dass häufig Wartungen erforderlich sind.
Warum der Heizer in der Produktion funktioniert
Beim Verteilungsprozess wird zunächst der Fotoresist gebacken, anschließend das Underfill ausgehärtet und schließlich die Bauteile wieder flüssig gemacht. Jeder Schritt stellt eine wichtige Kontrollstufe dar. Der Heizer stabilisiert das Temperaturprofil, sodass die kritischen Abmessungen erhalten bleiben und die Lücken im Underfill minimiert werden. Eine hohe Temperaturkonstanz reduziert die Anzahl der Ausschussprodukte, und die Wiederholbarkeit erleichtert den Übergang zwischen den Chargen. Der Energieverbrauch sinkt, da die Quarzemitter nur die Zielfläche direkt erwärmen, nicht den gesamten Raum. Das Ergebnis: mehr gute Bauteile pro Wafer, weniger Nacharbeiten und planbare Betriebszeiten.
Was man von Anfang an berücksichtigen muss
Der Heizer kann in vorhandene Beschichtungs- und Backanlagen eingebaut werden. Allerdings müssen die Abmessungen des Heizers mit denen der Anlage übereinstimmen. Zudem benötigt man eine eigene Stromversorgung sowie eine Abschirmung für empfindliche Bereiche. Wenn die Setpoint-Temperaturen über 250°C liegen, muss man auf die Schnittstellen zwischen Quarz und Keramik achten. Wir liefern dazu eine Kurve zur Temperaturkorrektur. Planen Sie die Integration frühzeitig – dann kann der Prozess schnell in Gang gebracht werden.