Halten Sie die Schrapnelle auf: Warum wir auf Twin-Tube-Goldlampe setzten
In einer Fabrik zur Herstellung von Halbleitern ist ein defekter Lampenflammenkegel kein kleines Problem – es handelt sich dabei um einen echten Albtraum. Wenn eine herkömmliche Quarztube versagt, funktioniert sie nicht mehr nur nicht – sie explodiert sogar und verteilt Glassplitter sowie Metallstücke überall auf den Wafern. Ein solcher Defekt führt zu einer Katastrophe in Form von Kontaminationen.
Genau deshalb haben wir diese mit Gold beschichteten Lampen entwickelt. Wir wollten das Problem der „sekundären Kontamination“ endgültig beseitigen.
Der „Tube-in-a-Tube“-Ansatz
Die Konstruktion ist ziemlich einfach: Der Heizelement wird in eine zweite, äußere Quarzhülle eingebaut. Man kann das als eine Art „Sicherheitsnetz“ betrachten. Falls die innere Tube durch thermische Belastungen beschädigt wird oder der Faden durchbrennt, fängt die äußere Hülle alles auf. Die Schädlstoffe bleiben somit in der Lampe und gelangen nicht auf die Wafern. Es handelt sich dabei um eine physische Barriere zwischen den Wafern und möglichen Schäden.
Warum Gold?
Wir beschichten die Lampen nicht mit Gold, damit sie besser aussehen. Es geht vielmehr um die Wärmeableitung. Gold reflektiert Infrarotstrahlung hervorragend. Anstatt dass die Wärme ins Gehäuse der Maschine abgegeben wird, wird sie direkt zurück auf die Wafer gelenkt. Dadurch entsteht eine viel höhere Wärmestärke auf den Wafern – man kann somit die gewünschten Temperaturen erreichen, ohne die Leistung der Lampe erhöhen zu müssen. Zudem sorgt Gold dafür, dass die Wärme gleichmäßiger über die Tube verteilt wird. Dadurch entstehen keine „heißen Stellen“, die dazu führen könnten, dass die Quarztube unter starken Belastungen beschädigt wird.
Die Nachteile (Denn es gibt immer welche)
Es gibt allerdings ein paar Dinge, auf die man achten muss. Da die Goldschicht dünn ist, ist sie empfindlich. Wenn man die Beschichtung während der Installation zerstört, wird das Wärmeprofil beeinträchtigt. Man sollte mit diesen Lampen sehr vorsichtig umgehen – verwenden Sie Handschuhe und vermeiden Sie alles, was abrasiv sein könnte.
Vergessen Sie auch nicht die Kühlung. Obwohl Gold die Wärme reflektiert, werden die Enden der Lampe trotzdem sehr heiß. Wenn die Luftzufuhr schwach ist, können die Anschlüsse überhitzen – dadurch verkürzt sich die Lebensdauer der Lampe. Halten Sie die Lampen kühl, dann halten sie länger.