http://warm-ir-indoor.com/de/tags/kompakt/ Recent content in Kompakt on Indoor Warm IR Solutions Hugo de Thu, 18 Jun 2026 01:08:55 +0800 http://warm-ir-indoor.com/de/posts/compact-infrared-dryer-for-ic/ Thu, 18 Jun 2026 01:08:55 +0800 http://warm-ir-indoor.com/de/posts/compact-infrared-dryer-for-ic/ <p><img src="http://warm-ir-indoor.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Kompakter Infrarot Trockner für ICs"></p> <p>Im Bereich der Lithografie ist das Aushärten des Fotoresists nicht einfach nur ein weiterer Schritt im Produktionsprozess – es handelt sich dabei um einen wichtigen thermischen Prozess, den man auf keinen Fall vernachlässigen darf. Eine Abweichung von einem halben Grad beim Weichen oder Harten Aushärten kann dazu führen, dass die Kontrolle über die kritischen Abmessungen beeinträchtigt wird und das Profil der Seitenwände beeinträchtigt wird. Herkömmliche Öfen weisen eine hohe thermische Masse auf, langsame Temperaturanpassungszeiten sowie das ständige Risiko von Partikeln auf. Der kompakte Infrarot-Trockner für ICs wurde entwickelt, um all diese Probleme zu beseitigen.</p>