Energieaudits für die Trocknungsanlagen

Fri, 03 Jul 2026 03:14:02 +0800

In der Fertigungseinheit ist das Trocknen nicht einfach nur eine Phase nach dem Reinigen. Vielmehr zerstören überschüssige Feuchtigkeit sowie ungleichmäßige Wärmebedingungen allmählich die Eigenschaften des Fotolacks und beeinträchtigen dessen Profil. Wenn der Ofen die Temperatur nicht gleichmäßig über die gesamte Fläche verteilen kann, entstehen Probleme wie Ränder mit Unebenheiten oder Verformungen des Fotolacks. Das führt zu Ausschuss, erneuten Bearbeitungsschritten sowie zusätzlichen Energiekosten durch erneutes Erhitzen.

Was wirklich wichtig ist
Wir entwickeln das Trocknungssystem so, dass eine gleichmäßige Temperaturverteilung auf der Waferoberfläche gewährleistet wird. Das Ziel ist eine Temperaturschwankung von ±0,1°C während des Soft-Baking- und Hard-Baking-Prozesses. Die Heizquelle besteht aus Kurzwellen-Infrarotstrahlung – dadurch wird eine schnelle und effektive Erwärmung erreicht, ohne dass es zu Überhitzungen kommt. Die Kompatibilität mit Reinräumen der Klassen 1–100 ist selbstverständlich gegeben; außerdem wird durch kontinuierliche Überwachung sichergestellt, dass keine Partikel entstehen. Die Anlage arbeitet 24/7 ohne Unterbrechungen – dank prädiktiver Wartung hinsichtlich der Lebensdauer der Lampen und der thermischen Stabilität. Zudem werden die Energieverbräuche pro Charge erfasst, sodass man den Energieverbrauch pro Wafer genau tracken kann und diesen direkt mit der Qualität des Trocknungsprozesses in Verbindung bringen kann.

Prüfung on Indoor Warm IR Solutions

Energieaudits für die Trocknungsanlagen