Sensor on Indoor Warm IR Solutions

Präziser Infrarot Sensor für Wafer

Mon, 27 Jul 2026 16:40:09 +0800

Hören Sie auf, Energie zu verschwenden: Eine bessere Methode zur Erwärmung der Siliziumwafer
Die Erwärmung von Siliziumwafern erfordert Genauigkeit. Das Problem ist jedoch: Herkömmliche Infrarotlampen streuen die Wärme in alle Richtungen – also in 360 Grad. In einem engen Halbleiterwerkzeugraum bleibt diese Wärme nicht nur auf dem Wafer haften. Sie trifft auch auf die Innenseiten der Wände. Schon bald ist die Gehäusehülle des Geräts extrem heiß. Das ist eine Verschwendung von Energie – und außerdem eine Gefahr für die Sicherheit der Personen, die neben der Maschine arbeiten müssen.

Heizgerät zum Trocknen von MEMS Sensorwafern

Tue, 21 Jul 2026 01:52:48 +0800

Wie man MEMS-Wafern trocknet – ohne Probleme
Das Trocknen von MEMS-Sensorwafern ist eine Art „Seiltanz“. Man möchte, dass das Wasser möglichst schnell verschwindet – doch wenn man zu aggressiv vorgeht, entstehen mechanische Belastungen und die Bauteile werden beschädigt.

Wir haben eine Lösung gefunden: Wir verwenden Infrarotheizgeräte in Kombination mit reflektierenden Oberflächen aus Gold. Das Ziel ist einfach: Die Wärme soll direkt auf die Waferoberfläche wirken – und nicht nur den Inneren der Maschine erwärmen.

Warum Gold?
Die meisten Menschen verwenden Aluminiumreflektoren – doch diese lassen viel Infrarotenergie entweichen. Das ist pure Verschwendung von Energie. Wir haben stattdessen eine hochreine Goldbeschichtung verwendet – schließlich ist Gold hervorragend darin, Nahinfrarotlicht zurückzulenken. Man kann es eher als „Lenkung der Wärme“ betrachten – anstatt als „Hinzufügen zusätzlicher Wärme“. So werden die Photonen, die sonst ins Leere abgelenkt würden, direkt auf die Waferoberfläche gelenkt.

Temperatursensor für Wafer Werkzeuge

Sat, 18 Jul 2026 01:50:01 +0800

Wie man Staub vermeidet: So erreicht man eine vollständig kontaminiationsfreie Erwärmung
In einem Reinraum der Klasse 100 bedeutet bereits ein einziger Staubkorn einen großen Problemfall. Wenn das Heizelement anfängt, Partikel abzugeben oder Gase auszustoßen, geht es nicht nur um die Verlust einiger Wafer – sondern um den gesamten Produktionsprozess. Das ist ein Albtraum.

Deshalb verwenden wir hochreine synthetische Quarzlampen.
Das Geheimnis liegt im Glas.
Normales Glas enthält viele metallische Verunreinigungen. Wenn es immer wieder erhitzt und abgekühlt wird, beginnt es zu spröde zu werden. Das mag zwar nicht viel sein, doch es reicht aus, um die Qualität der Wafer zu beeinträchtigen. Wir verwenden stattdessen gefülltes Siliziumglas. Es ist rein – ohne Rückstände und ohne „Spuren“ auf den Wafern. Zudem gibt es kein Abblättern des Glases.