Temperatursensor für Wafer Werkzeuge

Sat, 18 Jul 2026 01:50:01 +0800

Wie man Staub vermeidet: So erreicht man eine vollständig kontaminiationsfreie Erwärmung
In einem Reinraum der Klasse 100 bedeutet bereits ein einziger Staubkorn einen großen Problemfall. Wenn das Heizelement anfängt, Partikel abzugeben oder Gase auszustoßen, geht es nicht nur um die Verlust einiger Wafer – sondern um den gesamten Produktionsprozess. Das ist ein Albtraum.

Deshalb verwenden wir hochreine synthetische Quarzlampen.
Das Geheimnis liegt im Glas.
Normales Glas enthält viele metallische Verunreinigungen. Wenn es immer wieder erhitzt und abgekühlt wird, beginnt es zu spröde zu werden. Das mag zwar nicht viel sein, doch es reicht aus, um die Qualität der Wafer zu beeinträchtigen. Wir verwenden stattdessen gefülltes Siliziumglas. Es ist rein – ohne Rückstände und ohne „Spuren“ auf den Wafern. Zudem gibt es kein Abblättern des Glases.

Temperatur on Indoor Warm IR Solutions

Temperatursensor für Wafer Werkzeuge