http://warm-ir-indoor.com/de/tags/verdampfer/ Recent content in Verdampfer on Indoor Warm IR Solutions Hugo de Thu, 25 Jun 2026 01:24:19 +0800 http://warm-ir-indoor.com/de/posts/evatec-evaporator-heating-lamp/ Thu, 25 Jun 2026 01:24:19 +0800 http://warm-ir-indoor.com/de/posts/evatec-evaporator-heating-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-indoor.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="Evatec Verdunstungsheizlampe"></p> <p>Auf dem Produktionsboden gilt es, bestimmte Standards einzuhalten. Eine Abweichung von 0,3 °C während des Trocknungsprozesses des Photoresists kann dazu führen, dass die Abstände zwischen den Schichten um Nanometer verschoben werden – was wiederum erhebliche Kosten verursachen kann. Die Heizlampen von Evatec sind so konzipiert, dass solche Abweichungen bereits an der Quelle vermieden werden.</p> <p><strong>Was wirklich wichtig ist</strong><br> Wir verwenden Kurzwellen-NIR-Kvartzlämpchen mit Schließkreiskontrolle. Dadurch bleibt die thermische Homogenität auf der Waferoberfläche bei ±0,1 °C. Die Reaktionszeit beträgt weniger als 200 ms – das bedeutet, dass Änderungen der Einstellungen schnell umgesetzt werden können, ohne dass es zu Überschreitungen kommt, die die Qualität der Schichten beeinträchtigen könnten. Der Lampenkörper ist für Reinräume der Klasse 1–100 geeignet. Zudem sorgt das Design der Lampe dafür, dass keine Verunreinigungen während längerer Betriebszeiten entstehen. Die Leistung der Lampe bleibt über 5.000 Stunden hinweg stabil, wobei die Abweichungen unter 5 % liegen.</p>