Entionisiertes Wasser Trockenlampe

Fri, 19 Jun 2026 02:18:05 +0800

Auf dem Lithoflachbett reicht bereits ein einziger Wassertropfen aus, um eine ganze Charge zu ruinieren. Man muss das entmineralisierte Wasser gründlich abtrocknen – wenn die Feuchtigkeit nicht vollständig entfernt wird, entsteht Kontamination, und damit auch ein Verlust der guten Haftung des Fotoresists. Die herkömmliche Trocknung erzeugt Temperaturunterschiede auf der Wafer-Oberfläche, was wiederum die Prozesse beeinträchtigt. Wenn die Heizelemente nicht stabil genug sind, können die dabei entstehenden Partikel dazu führen, dass die Partikelkonzentrationen im Reinraum über den zulässigen Wert hinausgehen.

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Entionisiertes Wasser Trockenlampe