En el área de litografía, un horneado suave a 95°C no es opcional; es la especificación. Si dejas que esa temperatura fluctúe ±0.5°C, el perfil del fotoresistente se desplaza. El control del ancho de línea por el que te esfuerzas se desmorona. Lo que necesitas es calor que alcance de inmediato, mantenga la estabilidad y no desprenda partículas en la sala limpia.
Lo que importa bajo el capó
Utilizamos bombillas de calefacción infrarroja de respuesta rápida: elementos halógenos de onda corta dentro de un sobre de cuarzo de alta pureza. Alcanzan la temperatura en milisegundos, lo que te proporciona un control de bucle cerrado preciso. La uniformidad a nivel de oblea se mantiene dentro de ±0.1°C en toda la superficie de horneado. La geometría del filamento y la disposición del reflector están diseñadas para eliminar puntos calientes y caídas en los bordes, de modo que cada chip recibe el mismo presupuesto térmico. Estas bombillas están construidas para salas limpias de Clase 1–100, y verificamos la generación de partículas cero con monitoreo in-situ durante largas operaciones.
Por qué se sostiene en el procesamiento de fotoresistentes
Tanto en el horneado suave como en el horneado duro, la repetibilidad es el indicador clave. La rápida respuesta acorta la rampa de impregnación, por lo que reduces el tiempo de ciclo sin renunciar al control del perfil. Materiales compatibles con salas limpias y sellos sólidos mantienen fuera la desgasificación y la contaminación: los conteos de partículas se mantienen estables y el tiempo de actividad de la herramienta se mantiene alto. También consumes menos energía, porque el calentador entrega calor bajo demanda y se enfría rápidamente entre horneados, reduciendo la inercia térmica y el desperdicio.
Lo que necesitas planificar
La instalación se reduce a hacer coincidir la herramienta: zócalo, voltaje y geometría de apertura. Si los reflectores no coinciden o los accesorios son de tamaño insuficiente, verás no uniformidad. Espera un compromiso: la densidad de potencia máxima te proporciona velocidad, pero exige refrigeración estable y contactos eléctricos limpios. Proporcionamos dibujos dimensionales y mapas de calibración para cada bombilla, de modo que puedas integrar sin tener que recalificar todo el sistema térmico.