Lámpara infrarroja libre de ozono

Thu, 04 Jun 2026 00:52:31 +0800

En el piso de fabricación, conoce bien el procedimiento: un desplazamiento de 0.5°C en la temperatura de horneado puede mover dimensiones críticas en nanómetros, y de repente, terminas desechando mucho material. Las lámparas tradicionales también generan ozono, que deteriora la óptica y recubre las cámaras. El conteo de partículas aumenta y vuelves al área para mantenimiento no planificado. Diseñamos una lámpara infrarroja sin ozono para eliminar esa variable.

Lo que importa bajo el capó
Utilizamos emisores de infrarrojo de onda corta ajustados para una absorción rápida y directa en el fotoresistente y el sustrato, con un espectro configurado para minimizar la generación de ozono. Durante el horneado suave y el horneado duro, la uniformidad térmica a lo largo del wafer se mantiene en ±0.1°C, lo que mantiene estable la viscosidad, el espesor y la rugosidad del borde de línea. El seguimiento del punto de consigna es inferior a 50 ms, por lo que el control en lazo cerrado se mantiene preciso y el presupuesto térmico constante.
El diseño está listo para salas limpias Clase 1–100. El conjunto de la lámpara no genera partículas y el envolvente de cuarzo sellado mantiene bajo el nivel de desgasificación. La salida se mantiene estable durante más de 5,000 horas, con una caída de intensidad inferior al 5%, por lo que puede operar 24/7 sin necesidad de recalibración.

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Lámpara infrarroja libre de ozono