http://warm-ir-indoor.com/fa/tags/%D9%BE%DB%8C%D8%B4%D8%B1%D9%81%D8%AA%D9%87/ Recent content in پیشرفته on Indoor Warm IR Solutions Hugo fa Tue, 09 Jun 2026 01:03:40 +0800 http://warm-ir-indoor.com/fa/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ Tue, 09 Jun 2026 01:03:40 +0800 http://warm-ir-indoor.com/fa/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ <p><img src="http://warm-ir-indoor.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="گرمایش منطقهای برای ساخت پیشرفته ویفر"></p> <p>در سالن لیتوگرافی، انحراف 0.3°C در طول پخت نرم فوتورزیست می‌تواند باعث تغییر عرض خطوط در مرحله اچ و مستقیم به کاهش بازده شود. بودجه حرارتی به شما فرصت دوباره نمی‌دهد. ما سیستم گرمایش منطقه‌ای برای کارخانه‌های پیشرفته ویفر طراحی کرده‌ایم تا دما را در محدوده لازم حفظ کند—روی ویفر، در سراسر سطح و داخل پنجره فرایند.</p> <p>آنچه از نظر فنی اهمیت دارد، کنترل قابل اطمینان است. این پلتفرم از المان‌های مادون قرمز کوتاه‌موج با کنترل پاسخ سریع در هر منطقه استفاده می‌کند، به طوری که یکنواختی دما در سطح ویفر در ±0.1°C روی صفحه گرم‌کننده حاصل می‌شود. تکرارپذیری دما از دسته‌ای به دسته دیگر ≤±0.5°C است که باعث پایداری پروفایل‌های حساس پخت فوتورزیست می‌شود. این سیستم در اتاق‌های پاک کلاس 1–100 بدون افزایش شمار ذرات کار می‌کند—مواد با آزادسازی پایین و نواحی حرارتی مهر و موم شده خط را صاف نگه می‌دارند. عملکرد 24/7 با MTBF اندازه‌گیری‌شده در ده‌ها هزار ساعت ارائه می‌شود و تعمیر و نگهداری طبق برنامه‌ریزی انجام می‌گیرد، نه به صورت اضطراری.</p>