Obtenir des données thermiques fiables pour les chauffages à semi-conducteurs infrarouges
Si vous construisez une usine intelligente, vous avez probablement réalisé que simplement « vérifier la température » ne suffit pas. Vous avez besoin de données qui vous indiquent en temps réel ce qui se passe avec vos wafer. Pour nous, cela signifie utiliser des thermocouples spécialisés en combinaison avec des systèmes infrarouges, afin de s’assurer que la chaleur émise par la lampe atteint bien la surface du wafer comme vous le souhaitez.
Les détails techniques liés aux capteurs infrarouges
Les systèmes infrarouges sont très puissants : ils transmettent de l’énergie très rapidement. Pour suivre ce rythme, il faut des thermocouples capables de réagir aussi vite.
Le problème, c’est que dans un système numérique, le capteur ne se contente pas de signaler que le chauffage est en marche. Il envoie également des données sur la tension afin de permettre au PLC d’ajuster les paramètres de chauffage en temps réel.
Mais faites attention à la « masse thermique ». Si le capteur est trop gros, sa réaction sera lente. Or, dans ce genre d’application, une réaction lente signifie que vous dépassez la température souhaitée. Cela peut endommager le wafer. C’est pourquoi nous utilisons des thermocouples fins : cela permet d’obtenir une réponse rapide.
Faire en sorte que les données soient vraiment utiles
La véritable force d’une usine numérisée, c’est le niveau de détail qu’elle offre. Nous connectons ces capteurs à un système qui enregistre chaque variation de température. De plus, cela permet de savoir quand les équipements commencent à se détériorer. Si vous constatez que le système consomme plus d’énergie que d’habitude pour atteindre la même température, cela signifie que l’élément de chauffage est en train de se consumer. Vous pouvez alors le remplacer pendant une pause planifiée, plutôt que de faire face à des problèmes graves au milieu d’une production.
Les compromis (car rien n’est parfait)
La précision n’est pas gratuite. Ces thermocouples hautement sensibles sont fragiles. Comme vous travaillez dans un environnement à haute puissance, les capteurs eux-mêmes peuvent être affectés par la chaleur rayonnante. Cela provoque des erreurs de mesure. Il est donc essentiel de protéger correctement les fils conducteurs. Si vous ne choisissez pas un isolant capable de résister à la chaleur présente dans la chambre, les fils vont fondre. Dans ce cas, les données deviennent inutilisables, et vous êtes obligé de travailler à l’aveugle.