Lampe de chauffage de l évaporateur Evatec

Thu, 25 Jun 2026 01:24:19 +0800

Sur le plateau de production, vous connaissez bien les règles à respecter. Une déviation de 0,3 °C pendant le processus de cuisson du photorésiste peut entraîner des erreurs de quelques nanomètres, ce qui peut coûter très cher. Les lampes de chauffage d’Evatec sont conçues pour empêcher cette déviation dès son apparition.

Ce qui est vraiment important Nous utilisons des émetteurs en quartz à ondes courtes dans la gamme du NIR, avec une régulation en boucle fermée. Cela permet de maintenir une uniformité thermique de ±0,1 °C sur toute la surface de la feuille de silicium. Le temps de réponse est inférieur à 200 ms, ce qui signifie que les changements de paramètres se produisent rapidement – sans risque de dépassements qui pourraient endommager les films utilisés. Le corps de la lampe est compatible avec les environnements propres de classe 1–100. De plus, son design permet de contrôler les particules, ce qui évite toute contamination au cours des longues durées de fonctionnement. La performance de la lampe reste stable pendant plus de 5 000 heures, avec une déviation inférieure à 5 %.

Evatec on Indoor Warm IR Solutions

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