http://warm-ir-indoor.com/he/tags/%D7%98%D7%9B%D7%A0%D7%95%D7%9C%D7%95%D7%92%D7%99%D7%94/ Recent content in טכנולוגיה on Indoor Warm IR Solutions Hugo he Fri, 26 Jun 2026 01:28:03 +0800 http://warm-ir-indoor.com/he/posts/future-of-semiconductor-heating-tech/ Fri, 26 Jun 2026 01:28:03 +0800 http://warm-ir-indoor.com/he/posts/future-of-semiconductor-heating-tech/ <p><img src="http://warm-ir-indoor.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="עתידה של טכנולוגיית החימום במערכות שבביות"></p> <p>במחלקת הייצור, שינוי של 0.5°C במהלך תהליך החימום של הפוטורזיסט מספיק כדי לגרום לפסולת של כל המוצרים שנוצרו. התפלגות הטמפרטורה ברמת הוואפר אינה עניין של המלצה – זו דרישה הכרחית. עיצבנו את פלטפורמת החימום בהתאם לדרישה זו.</p> <p>מבחינה טכנית, מה שחשוב הוא שמערך הפולטים באור האינפרא-אדום שלנו מאפשר שמירה על אחידות הטמפרטורה ברמת הוואפר בטווח של ±0.1°C בכל אזור הפעילה. רמת הדיוק של הטמפרטורה נשארת בטווח של ±0.2°C בין בצקים שונים. קצב העלייה בטמפרטורה הוא 10°C/שנייה, ללא עליות יתר, כך שהפרופיל התרמי נשאר יציב במהלך תהליכי החימום. המערכת מתאימה לחדרי ייצור מסוג Class 1–100, והאזור החם מעוצב כך שלא ייווצרו חלקיקים – כך שרמת הזיהום על פני השטח נשארת מתחת ל-1 חלקיק לוואפר. המערכת פועלת באופן רציף, עם זמן שירות של יותר מ-50,000 שעות. ארכיטקטורת החימום מאפשרת יציבות בהספק החימום למשך יותר מ-5,000 שעות, עם שינוי של פחות מ-5% בעוצמת החימום.</p>