http://warm-ir-indoor.com/he/tags/%D7%9E%D7%99%D7%99%D7%91%D7%A9-%D7%A9%D7%99%D7%A2%D7%A8/ Recent content in מייבש שיער on Indoor Warm IR Solutions Hugo he Thu, 18 Jun 2026 01:08:55 +0800 http://warm-ir-indoor.com/he/posts/compact-infrared-dryer-for-ic/ Thu, 18 Jun 2026 01:08:55 +0800 http://warm-ir-indoor.com/he/posts/compact-infrared-dryer-for-ic/ <p><img src="http://warm-ir-indoor.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="מייבש אינפרא אדום קומפקטי ל IC"></p> <p>בתהליך הליתוגרפיה, חימום החומר הפוטורזיסטי אינו רק שלב נוסף בתהליך – זו בעצם עוד גורם תרמי שאי אפשר להתעלם ממנו. שינוי של חצי מעלה בטמפרטורת החימום עלול לפגוע בשליטה בממדים הקריטיים של השבב, ולגרום לשינויים בתווי הקירות של השבב. התנורים הרגילים יוצרים בעיות תרמיות, וקיים גם סיכון תמידי להיווצרות חלקיקים. המייבש האינפרא-אדום הקומפקטי לשבבים נוצר כדי להיפטר מבעיות אלו.</p> <p><strong>מה חשוב באמת?</strong> אנו משתמשים בגלאי אינפרא-אדום בעלי גלים קצרים, ללא הלוגן, כדי להעביר אנרגיה ישירות אל השבב. זה מאפשר יציבות של פחות מ-10 שניות, ואחידות של ±0.1°C בכל שטח השבב. השגרתיות של הטמפרטורה בין פעימות שונות היא ±0.2°C, כך שתהליך הטיפול בחומר הפוטורזיסטי נשאר מדויק. המכשיר מתאים לחדרי ניקיון מסוג Class 1–100, עם חלונות קוורץ מאוטמים ומערכת אוורור שמונעת היווצרות חלקיקים במהלך הפעולה. השליטה במכשיר היא באמצעות שיטת PID, והמכשיר מוכן לשימוש עם תקני SECS/GEM. כך ניתן לשלוט בתהליך החימום בצורה מדויקת.</p>