עתידה של טכנולוגיית החימום במערכות שבביות

במחלקת הייצור, שינוי של 0.5°C במהלך תהליך החימום של הפוטורזיסט מספיק כדי לגרום לפסולת של כל המוצרים שנוצרו. התפלגות הטמפרטורה ברמת הוואפר אינה עניין...