מייבש אינפרא אדום קומפקטי ל IC

בתהליך הליתוגרפיה, חימום החומר הפוטורזיסטי אינו רק שלב נוסף בתהליך – זו בעצם עוד גורם תרמי שאי אפשר להתעלם ממנו. שינוי של חצי מעלה בטמפרטורת החימום...