लिथोग्राफी प्रक्रिया में, फर्श पर मौजूद थोड़ा सा भी पानी पूरे उत्पादन प्रक्रम को बर्बाद कर सकता है। डिआयनाइज्ड पानी का उपयोग करके ही सतह को साफ किया जाना चाहिए; अगर सतह से पानी पूरी तरह नहीं निकलता, तो इससे दूषण हो जाता है, और फोटोरेसिस्ट की गुणवत्ता खराब हो जाती है। पारंपरिक विधियों से सुखाने पर वेफर पर तापीय असमानताएँ उत्पन्न हो जाती हैं, जिससे फोटोरेसिस्ट की गुणवत्ता प्रभावित होती है। अगर हीटर स्थिर न हों, तो उनसे निकलने वाले कणों के कारण क्लीनरूम में कणों की संख्या निर्धारित सीमा से बाहर चली जाती है।
तो हम इस समस्या का समाधान क्या करें? हमने डिआयनाइज्ड पानी को सुखाने हेतु ऐसे उपकरण बनाए, जिनमें छोटी तरंगदैर्घ्य वाले इन्फ्रारेड विकिरणकारी उपकरण क्वार्ट्ज कवर में लगे होते हैं। यह उपकरण गैर-संपर्कीय है, तेजी से गर्मी पैदा करता है, एवं प्रतिक्रिया समय कुछ ही सेकंड में होता है।
प्रक्रिया के दौरान वेफर पर तापीय समानता ±0.1°C के भीतर ही रहती है, इसलिए फोटोरेसिस्ट पर आवश्यक नियंत्रण बना रहता है। आउटपुट 10% से 100% ड्यूटी साइकल तक स्थिर रहता है, जिससे उत्पादन प्रक्रिया में निरंतरता बनी रहती है। यह उपकरण क्लास 1–100 क्लीनरूमों में भी उपयोग में आ सकता है, एवं 0.1 μm आकार के कणों का उत्पादन भी नहीं होता। ऊर्जा घनत्व ऐसा है कि सतह पर मौजूद पानी निकल जाता है, लेकिन फोटोरेसिस्ट में मौजूद घोल बाहर नहीं निकलता, इसलिए तापीय संतुलन बना रहता है।
वेफर की सफाई एवं सुखाने की प्रक्रिया में, यह उपकरण तेजी से एवं समान रूप से सुखावट प्रदान करता है; फोटोरेसिस्ट प्रक्रिया शुरू करने से पहले ही सतह पर कोई दाग या अन्य अवशेष नहीं रह जाते।
जब फोटोरेसिस्ट को गर्म करने की प्रक्रिया शुरू होती है, तो यही तापीय नियंत्रण CD में होने वाले परिवर्तनों को कम करता है, जिससे उत्पादन में सुधार होता है। ऊर्जा की खपत कम हो जाती है, क्योंकि ऊर्जा सीधे लक्ष्य तक ही जाती है, न कि वातावरण के गैसों को गर्म करने हेतु।
24/7 उत्पादन प्रक्रिया में भी इस उपकरण की विश्वसनीयता साबित हो चुकी है – 5,000+ घंटों तक उपयोग करने के बाद भी आउटपुट में 5% से भी कम परिवर्तन होता है, एवं उच्च-मात्रा में उत्पादन करते समय भी कोई बंदش नहीं होती।
इस उपकरण को इंस्टॉल करने हेतु एक विशेष, सुरक्षित विद्युत प्रणाली की आवश्यकता है, ताकि ±0.1°C की समानता बनी रहे। यह उपकरण मानक OEM उपकरणों के साथ भी अच्छी तरह काम करता है; लेकिन ऑप्टिकल पथ में पानी या नमी न रहे, इस हेतु नमी हटाने हेतु विशेष उपाय करने आवश्यक हैं।
प्रत्येक 1,000 घंटों में इस उपकरण के विकिरणकारी उपकरणों को कैलिब्रेट करना आवश्यक है, ताकि उत्पादन प्रक्रिया में निरंतरता बनी रहे।