लाइन पर, फैन-आउट पुनर्वितरण का उद्देश्य थर्मल नियंत्रण ही है। एपॉक्सी मोल्ड कंपाउंड सूखने के दौरान एक ही जगह पर ऊष्मा उत्पन्न होती है; फोटोरेजिस्ट को गर्म करने के दौरान भी ऐसा ही होता है। ऐसी स्थिति में लाइन-विड्थ एवं बम्पों की समतलता को नियंत्रित करना आवश्यक हो जाता है। हीटर को हर डाइ, हर बैच, हर शिफ्ट में समान तापमान प्रदान करना होता है।
वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
हमने फैन-आउट WLP हीटर को शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड हैलोजन क्वार्ट्ज एमिटरों के आधार पर बनाया है। यह सतह-आधारित तापन प्रणाली है, जिससे थर्मल नियंत्रण आसान हो जाता है। एक्टिव जोन में ±0.1°C की समानता होती है; यह मापन नग्न सिलिकॉन पर थर्मोकपलों के माध्यम से किया जाता है। प्रतिक्रिया कुछ सेकंड में ही हो जाती है… जो कि सॉफ्ट/हार्ड बेक प्रक्रियाओं में बहुत ही महत्वपूर्ण है। क्लीनरूम क्लास 1–100 के लिए ऐसा डिज़ाइन आवश्यक है… जिससे कम गैस उत्सर्जन हो एवं स्थिर संचालन के दौरान कोई कण न उत्पन्न हो। वास्तविक उपयोग में, यह 24/7 काम करता है… एवं रखरखाव के बीच हजारों घंटे तक काम कर सकता है।
उत्पादन में इसकी उपयोगिता क्यों है?
पुनर्वितरण प्रक्रिया में, फोटोरेजिस्ट को गर्म किया जाता है, अंडरफिल को सूखाया जाता है, फिर बम्पों को पिघलाया जाता है… हर चरण उत्पादन की गुणवत्ता के लिए महत्वपूर्ण है। हीटर, थर्मल प्रोफाइल को स्थिर रखता है… जिससे महत्वपूर्ण आयाम सही रहते हैं, एवं अंडरफिल में खाली जगहें कम रहती हैं। समान तापमान के कारण वेफर के किनारों पर अस्वीकृत उत्पादों की संख्या कम हो जाती है… एवं बैचों के बीच स्थानांतरण आसान हो जाता है। ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है… क्योंकि क्वार्ट्ज एमिटर, केवल लक्षित क्षेत्र को ही गर्म करते हैं… पूरे चैंबर को नहीं। परिणामस्वरूप, प्रति वेफर अधिक अच्छे उत्पाद प्राप्त होते हैं… पुनः कार्य की आवश्यकता कम हो जाती है… एवं ऑपरेशन का समय भी नियंत्रित रहता है।
शुरुआत में क्या ध्यान रखना आवश्यक है?
हीटर, मौजूदा कोटर/बेक ट्रैक एवं मोल्ड प्रेसों में ही लग सकता है… लेकिन इसका माउंटिंग स्थान एवं एपर्चर, उपकरण के अनुरूप होना आवश्यक है। EMI-संवेदनशील क्षेत्रों के लिए विशेष ऊर्जा आपूर्ति एवं शील्डिंग आवश्यक है। जब सेटपॉइंट 250°C से अधिक हो जाता है, तो क्वार्ट्ज एवं सिरेमिक सतहों पर ध्यान देना आवश्यक है… हम ऐसे लिए थर्मल डेरेटिंग कर्व भी प्रदान करते हैं। एकीकरण की प्रक्रिया को जल्दी ही शुरू करना आवश्यक है… ताकि प्रक्रिया जल्दी ही पूरी हो सके।