सेमीकंडक्टरों के निर्माण हेतु उपयोग में आने वाली उपकरणों पर, अंडरफिल के सूखने की प्रक्रिया में ही थर्मल बजट एवं उत्पादकता के बीच संतुलन बनाना आवश्यक होता है। यदि कोई पैकेज ठीक से सूख नहीं पाता, तो रीफ्लो प्रक्रिया के बाद उसमें विघटन हो जाता है, एवं Cpk मान भी निर्धारित मान से बाहर चला जाता है। हमने अपनी NIR तकनीक का उपयोग थर्मल प्रोफ़ाइल को नियंत्रित रखने हेतु किया; इससे हर उत्पाद निर्धारित मानदंडों के अनुसार ही तैयार होता है।
तकनीकी दृष्टि से महत्वपूर्ण बातें:
अंडरफिल के सूखने की प्रक्रिया में वेफर स्तर पर ±0.1°C की थर्मल एकरूपता बनी रहती है, एवं यह एक शिफ्ट से दूसरी शिफ्ट तक भी बनी रहती है। NIR ऊर्जा तेज़ी से कार्य करती है, इसलिए सब्सट्रेट पर कोई नकारात्मक प्रभाव नहीं पड़ता; इससे थर्मल लोड निर्धारित सीमाओं के भीतर ही रहता है। यह सिस्टम 24/7 कार्य करता है, एवं इसमें कोई कण उत्पन्न नहीं होता। यह सिस्टम क्लीनरूम क्लास 1–100 में भी कार्य कर सकता है; इससे लिथोग्राफी एवं पैकेजिंग प्रक्रिया में कणों की संख्या नियंत्रित रहती है। तापमान नियंत्रण भी उम्मीद के अनुरूप ही होता है; इससे फोटोरेजिस्ट की अखंडता बनी रहती है, एवं महत्वपूर्ण आयाम भी अपरिवर्तित रहते हैं।
उच्च मात्रा में उत्पादन हेतु इसकी उपयोगिता:
अंडरफिल के सूखने की प्रक्रिया, उत्पादन दर को नियंत्रित करने में महत्वपूर्ण भूमिका निभाती है। NIR तकनीक के कारण चक्र-समय कम हो जाता है, एवं चिप्स की चिपकने की क्षमता एवं आकार भी बरकरार रहते हैं। इससे अपशिष्ट एवं पुनर्कार्य की आवश्यकता भी कम हो जाती है। ऊर्जा-उपयोग भी कम हो जाता है, क्योंकि सूखने की प्रक्रिया तेज़ी से होती है। दोहरावी प्रक्रियाओं के कारण OEE भी स्थिर रहता है। वेफर से लेकर पैकेज तक, चिप्स में चिपकने की क्षमता एवं आकार एकसमान रहते हैं, एवं थर्मल साइकलिंग के दौरान विफलताएँ भी कम हो जाती हैं।
संक्षेप में:
NIR तकनीक के उपयोग से अंडरफिल का सूखना तेज़ एवं प्रभावी ढंग से होता है। ऐसी स्थिति में किसी विशेष डिज़ाइन या अतिरिक्त प्रक्रिया की आवश्यकता नहीं होती। सिस्टम को जल्दी ही तैयार किया जा सकता है – लैंप की सेटिंग, कन्वेयर की गति एवं अंडरफिल की गुणवत्ता को संतुलित करना ही पर्याप्त है। एक बार ऐसा किया जाने के बाद, यह प्रक्रिया विभिन्न उत्पादों पर भी कार्य करती है। लेकिन यदि अंडरफिल की सामग्री बदली जाती है, तो थर्मल प्रक्रिया को पुनः संतुलित करने हेतु पुनर्मूल्यांकन आवश्यक है।