Nelle linee di produzione, si conosce bene la procedura da seguire: una variazione di temperatura di soli 0,3°C durante il processo di essiccazione del fotoresisto può causare errori di misurazione di pochi nanometri, con conseguenze molto gravi. Le lampade riscaldanti di Evatec sono progettate apposta per evitare tali variazioni fin dall’inizio.
Cosa è davvero importante
Utilizziamo emettitori a raggi infrarossi a breve lunghezza d’onda, dotati di sistema di controllo a circuito chiuso. In questo modo, l’uniformità termica sul wafer rimane entro i +/−0,1°C. Il tempo di risposta è inferiore a 200 ms, il che significa che i cambiamenti di impostazioni avvengono rapidamente, senza alcun rischio di sovraccarico termico che potrebbe danneggiare i film utilizzati. Il corpo della lampada è compatibile con ambienti di tipo Class 1–100, e il design a controllo delle particelle previene eventuali contaminazioni durante le lunghe operazioni di lavoro. L’output della lampada rimane stabile per oltre 5.000 ore, con una variazione di temperatura inferiore al 5%.
Perché è utile nella litografia e nell’essiccazione dei materiali
Nella litografia e nel trattamento dei fotoresisti, le temperature utilizzate durante l’essiccazione influenzano direttamente le dimensioni e l’adesione dei materiali utilizzati. Evatec garantisce che i parametri di essiccazione siano ripetibili, così da mantenere costanti le caratteristiche dei prodotti ottenuti. Il calore fornito dalle lampade è rapido e stabile, il che riduce i tempi di ciclo e l’energia necessaria per l’essiccazione di ogni wafer.
Nelle linee di confezionamento, questa stessa precisione permette di garantire una cottura uniforme dei polimeri, riducendo così i difetti e i lavori di rettifica. In sostanza, si ottengono meno problemi, meno prodotti difettosi e un aumento dell’efficienza operativa.
Cosa è necessario per mantenere tutto sotto controllo
Le lampade vanno inserite direttamente negli evaporatori di Evatec, ma è necessario che vi sia un flusso di corrente stabile e contatti elettrici puliti, affinché il sistema di controllo funzioni correttamente. È importante anche scegliere il materiale e l’emissività appropriati per il chuck; disponiamo di informazioni specifiche per superfici in alluminio, ceramica e rivestite. È consigliabile effettuare una calibrazione trimestrale e un controllo annuale degli emettitori. Questo garantisce un’alta uniformità e un basso numero di particelle presenti nell’ambiente di lavoro.