
Nel processo di redistribuzione dei componenti elettronici, il controllo termico è fondamentale. Un punto caldo durante la solidificazione del composto utilizzato per la stampa sugli stampi in epossidico, o delle variazioni di temperatura durante il processo di essiccazione del fotoreattivo, possono compromettere il controllo della larghezza delle linee e della planarità dei componenti stessi. Il riscaldatore deve quindi garantire una temperatura costante, indipendentemente dal chip, dalla serie di produzione o dal turno di lavoro.
Cosa è davvero importante
Abbiamo progettato il riscaldatore per il processo di redistribuzione utilizzando emettitori a radiazioni infrarosse a breve lunghezza d’onda. Si tratta di un sistema di riscaldamento superficiale molto veloce, che permette di mantenere sotto controllo la temperatura. Nella zona attiva del chip si ottiene una uniformità di temperatura di ±0,1°C, misurata su silicio grezzo tramite termocoppie. La risposta del riscaldatore avviene in pochi secondi, il che è importante quando si effettua un controllo preciso durante i processi di essiccazione. Il sistema è compatibile con ambienti puliti di tipo 1–100, grazie a una struttura che riduce al minimo l’emissione di gas e evita la formazione di particelle durante il funzionamento. In condizioni operative normali, il riscaldatore può funzionare 24/7, con intervalli di manutenzione estremamente lunghi.
Perché funziona bene in produzione
Durante il processo di redistribuzione, si procede con l’essiccazione del fotoreattivo, la solidificazione del materiale utilizzato per riempire gli spazi vuoti tra i componenti, e infine il riscaldamento dei componenti stessi. Ogni fase rappresenta un punto critico per il risultato finale. Il riscaldatore aiuta a mantenere stabile il profilo termico, permettendo così che le dimensioni dei componenti rimangano entro i limiti consentiti e che gli spazi vuoti tra i componenti siano minimi. Una buona uniformità termica riduce il numero di componenti difettosi, mentre la ripetibilità del processo facilita il trasferimento dei componenti da una serie di produzione all’altra. Inoltre, l’uso energetico diminuisce, poiché gli emettitori a quarzo riscaldano direttamente l’area interessata, senza riscaldare l’intera camera. Il risultato è un maggior numero di componenti funzionanti per ogni wafer, meno lavori di riparazione, e tempi di funzionamento più prevedibili.
Cose da considerare fin dall’inizio
Il riscaldatore può essere integrato nei sistemi esistenti per la verniciatura e l’essiccazione dei componenti, ma le dimensioni e le caratteristiche tecniche del riscaldatore devono corrispondere a quelle dello strumento utilizzato. È necessario un alimentatore dedicato e una protezione adeguata per le aree sensibili alle interferenze elettromagnetiche. Quando la temperatura di funzionamento supera i 250°C, è importante prestare attenzione alle interfacce tra il quarzo e i materiali ceramici utilizzati. È fondamentale pianificare l’integrazione del riscaldatore fin dall’inizio, in modo da poter accelerare il processo di produzione.