Riscaldatore per essiccazione dei wafer dei sensori MEMS

Tue, 21 Jul 2026 01:52:48 +0800

Come asciugare le wafer dei sensori MEMS senza problemi
Asciugare le wafer dei sensori MEMS è un compito delicato. È necessario che l’acqua scompaia rapidamente, ma se si procede in modo troppo aggressivo, si rischiano danni meccanici alle parti componenti.

Abbiamo trovato un modo per farlo utilizzando riscaldatori a infrarossi abbinati a riflettori rivestiti di oro. L’obiettivo è semplice: assicurarsi che il calore raggiunga effettivamente la wafer, invece di riscaldare soltanto l’interno della macchina.

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Fri, 03 Jul 2026 03:14:02 +0800

Nella sala di asciugatura, l’asciugatura non è semplicemente un passaggio successivo alla pulizia dei wafer. In realtà, l’umidità residua e il calore irregolare possono danneggiare la superficie dei wafer e compromettere la qualità del fotoresist. Quando il forno non riesce a mantenere una temperatura uniforme su tutta la superficie del wafer, si verificano problemi come imperfezioni sui bordi del wafer e variazioni nella forma del suo profilo. Ciò porta a scarti, necessità di rifacimento dei lavori e a costi aggiuntivi legati al riavvio del processo di asciugatura.

Essiccazione on Indoor Warm IR Solutions

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