Lampada di riscaldamento dell evaporatore Evatec

Thu, 25 Jun 2026 01:24:19 +0800

Nelle linee di produzione, si conosce bene la procedura da seguire: una variazione di temperatura di soli 0,3°C durante il processo di essiccazione del fotoresisto può causare errori di misurazione di pochi nanometri, con conseguenze molto gravi. Le lampade riscaldanti di Evatec sono progettate apposta per evitare tali variazioni fin dall’inizio.

Cosa è davvero importante
Utilizziamo emettitori a raggi infrarossi a breve lunghezza d’onda, dotati di sistema di controllo a circuito chiuso. In questo modo, l’uniformità termica sul wafer rimane entro i +/−0,1°C. Il tempo di risposta è inferiore a 200 ms, il che significa che i cambiamenti di impostazioni avvengono rapidamente, senza alcun rischio di sovraccarico termico che potrebbe danneggiare i film utilizzati. Il corpo della lampada è compatibile con ambienti di tipo Class 1–100, e il design a controllo delle particelle previene eventuali contaminazioni durante le lunghe operazioni di lavoro. L’output della lampada rimane stabile per oltre 5.000 ore, con una variazione di temperatura inferiore al 5%.

Evaporatore on Indoor Warm IR Solutions

Lampada di riscaldamento dell evaporatore Evatec