Lampada a infrarossi senza ozono

Thu, 04 Jun 2026 00:52:31 +0800

Sulla linea di produzione, sapete come funziona: una deriva di 0,5°C nella temperatura di cottura può spostare dimensioni critiche di qualche nanometro, e subito vi trovate a scartare molte unità. Le lampade tradizionali inoltre generano ozono, che degrada le ottiche e riveste le camere. Il numero di particelle aumenta e si torna al reparto per manutenzioni non programmate. Abbiamo sviluppato una lampada a infrarossi senza ozono per eliminare questa variabile.

Cosa conta sotto il cofano
Utilizziamo emettitori a infrarossi onda corta sintonizzati per un’assorbimento rapido e diretto su photoresist e substrato, con lo spettro modellato per ridurre al minimo la generazione di ozono. Durante il soft bake e l’hard bake, l’uniformità termica sul wafer si mantiene entro ±0,1°C, garantendo stabilità di viscosità, spessore e rugosità dei bordi delle linee. Il tracciamento del setpoint è inferiore a 50 ms, quindi il controllo in closed-loop rimane preciso e il budget termico costante.
Il design è idoneo a camere bianche Class 1–100. L’assemblaggio della lampada non rilascia particelle e l’involucro in quarzo sigillato mantiene basso il degassamento. L’emissione resta stabile per oltre 5.000 ore, con un calo di intensità inferiore al 5%, permettendo di operare 24/7 senza necessità di ricalibrazione.

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Lampada a infrarossi senza ozono