デジタル赤外線乾燥機コントローラー

Thu, 23 Jul 2026 09:48:09 +0800

なぜ、すべての赤外線ランプをテストするのか？（そして、なぜあなたがそれを気にすべきか）こちらでは、ランダムな抽出検査は行いません。私たちの工場から出荷されるすべての赤外線ランプは、必ず耐圧試験と絶縁抵抗試験を受けます。例外はありません。現実を言えば、高ワット数の加熱要素をデジタルコントローラーに接続する際には、「もしかするかも」というわけにはいきません。わずかな絶縁不良だけで、コントロールボードが破壊されたり、接地不良が発生して生産ライン全体が停止してしまう可能性があります。それは誰も望まない最悪の事態です。

IC用コンパクト型赤外線ドライヤー

Thu, 18 Jun 2026 01:08:55 +0800

リソグラフィーの工程において、フォトレジストの加熱処理は単なる工程の一つではありません。それは、絶対に見過ごしてはならない重要な要素です。ソフトベイクやハードベイクの温度が半度でもずれると、重要な寸法制御が崩れ、ウェーハの側壁形状も乱れてしまいます。従来のオーブンでは、熱容量が大きく、温度上昇が遅く、また粒子の発生という問題も常に存在します。IC用のコンパクトな赤外線乾燥機は、こうした問題を解決するために作られました。

重要なポイント 私たちは、短波長でハロゲンを含まない設計の近赤外線エミッタを使用しています。これにより、エネルギーを直接ウェーハに照射することができます。その結果、10秒未満で安定状態に到達し、ウェーハ全体の温度均一性は±0.1℃程度です。また、回ごとの温度再現性も±0.2℃と高く、フォトレジストの処理条件を厳密に管理できます。この装置は、クラス1～100のクリーンルームに適合し、密閉された石英製の窓や層流式の排気システムにより、運転中に粒子が発生することはありません。制御はPID方式で、SECS/GEM規格に対応しているため、処理条件を正確に管理し、全工程を追跡できます。

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デジタル赤外線乾燥機コントローラー

IC用コンパクト型赤外線ドライヤー