ファブ on Indoor Warm IR Solutions

認定済み赤外線硬化ランプ製造業者

Tue, 21 Jul 2026 02:06:44 +0800

なぜIRランプの絶縁試験にこだわるのか
赤外線硬化ランプを使用するとき、高温と高電圧という過酷な環境に置かれます。そのような環境では、わずかな絶縁不良が起きただけでは済みません。単にヒューズが切れるだけではなく、生産ライン全体が一瞬で破壊されてしまう可能性もあります。さらに悪いことに、その装置は操作者にとって重大な感電の危険源となり得ます。これは私たちが冒すべきリスクではありません。

炭素繊維赤外線ランプ工場

Thu, 16 Jul 2026 01:27:49 +0800

マシンを加熱するのをやめて、ウェーハ自体を加熱しましょう。
半導体製造現場で働いたことがある人なら、その苦労はよくわかるでしょう。ウェーハを所定の温度に持っていく必要がありますが、ほとんどの赤外線ランプは、単なる電球のようなもので、熱があらゆる方向に放出されてしまいます。これは無駄遣いです。さらに悪いことに、装置の筐体が巨大なラジエーターのようになり、近くにいる人々にとって危険です。
そこで、私たちは炭素繊維製の赤外線ランプを採用しました。

ファブ乾燥工程のエネルギー監査

Fri, 03 Jul 2026 03:14:02 +0800

製造現場において、乾燥処理というのは単に洗浄後に行う作業だけではありません。実際には、残った水分や不均一な温度が、フォトレジストの表面状態を悪化させ、その特性を乱してしまいます。オーブンがウェハ全体に対して一定の温度を維持できない場合、ウェハの端にビードができたり、表面に剥がれが生じたり、CDの位置がずれたりします。これにより、スクラップが発生したり、再加工が必要になったりします。また、再焼成を行うことで余計なエネルギーが消費されます。

先進的なウェーハファブ向けゾーン暖房

Tue, 09 Jun 2026 01:03:40 +0800

リソグラフィーフロアでは、フォトレジストのソフトベーク中に0.3℃のドリフトが発生すると、エッチングを通じてライン幅の変動を引き起こし、歩留まりの損失につながる可能性があります。熱的予算では、二度とチャンスはありません。私たちは、温度を必要な場所—ウエハ上、表面全体、およびプロセスウィンドウ内に維持するために、高度なウエハファブ用にゾーン加熱を構築しました。

技術的に重要なのは、信頼できる制御です。このプラットフォームは、ゾーンごとに迅速に反応する短波赤外線要素を使用しているため、ホットプレート全体でウエハレベルの均一性が±0.1℃に達します。温度の再現性はロット間で≤±0.5℃であり、これにより重要なフォトレジストのベークプロファイルが安定します。クラス1〜100のクリーンルームで稼働し、粒子数を増加させることはありません—低放出ガス材料と密閉された熱ゾーンがラインを平坦に保ちます。24時間年中無休で運転でき、MTBFは数万時間で測定され、メンテナンスはスケジュール通りに行われます。