http://warm-ir-indoor.com/ja/tags/%E5%87%A6%E7%90%86/ Recent content in 処理 on Indoor Warm IR Solutions Hugo ja Sat, 27 Jun 2026 01:27:53 +0800 http://warm-ir-indoor.com/ja/posts/optical-wafer-processing-heater/ Sat, 27 Jun 2026 01:27:53 +0800 http://warm-ir-indoor.com/ja/posts/optical-wafer-processing-heater/ <p><img src="http://warm-ir-indoor.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="光学ウェーハ加工用ヒーター"></p> <p>ファブの現場では、どうしても予測不可能な要因があります。例えば、フォトレジストの<a href="https://o-yate.com">加熱</a>処理でわずかに温度がずれただけでも、全体の製品が廃棄処分になってしまいます。光ウエハーの処理においては、再現性があり、均一で、クリーンな加熱が不可欠です。そのため、私たちはこのヒーターを、そうした要求に合わせて設計しました。推測の余地は一切ありません。</p> <p><strong>技術的に重要な点は何か？</strong> 私たちは、ウエハー表面全体で±0.1℃の安定した均一性を実現しました。これにより、ソフトベイクやハードベイクのプロセスも、フォトレジストの耐熱範囲内で行われます。ヒーター本体は、クラス1～100のクリーンルーム環境に適しており、すべての発熱面は、サイクルごとに粒子を一切放出しないように設計されています。熱応答も迅速で、オーバーシュートも抑えられているため、リソグラフィ工程間でも<a href="https://henruite.com">設定値</a>が安定しています。</p>