http://warm-ir-indoor.com/ja/tags/%E7%9B%A3%E6%9F%BB/ Recent content in 監査 on Indoor Warm IR Solutions Hugo ja Fri, 03 Jul 2026 03:14:02 +0800 http://warm-ir-indoor.com/ja/posts/energy-audit-for-fab-drying/ Fri, 03 Jul 2026 03:14:02 +0800 http://warm-ir-indoor.com/ja/posts/energy-audit-for-fab-drying/ <p><img src="http://warm-ir-indoor.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="ファブ乾燥工程のエネルギー監査"></p> <p>製造現場において、乾燥処理というのは単に洗浄後に行う作業だけではありません。実際には、残った水分や不均一な温度が、フォトレジストの表面状態を悪化させ、その特性を乱してしまいます。オーブンがウェハ全体に対して一定の温度を維持できない場合、ウェハの端にビードができたり、表面に剥がれが生じたり、CDの位置がずれたりします。これにより、スクラップが発生したり、再加工が必要になったりします。また、再焼成を行うことで<a href="https://o-yate.com">余計</a>なエネルギーが消費されます。</p>