http://warm-ir-indoor.com/ja/tags/%E8%84%B1%E3%82%A4%E3%82%AA%E3%83%B3%E6%B0%B4/ Recent content in 脱イオン水 on Indoor Warm IR Solutions Hugo ja Fri, 19 Jun 2026 02:18:05 +0800 http://warm-ir-indoor.com/ja/posts/deionized-water-drying-lamp/ Fri, 19 Jun 2026 02:18:05 +0800 http://warm-ir-indoor.com/ja/posts/deionized-water-drying-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-indoor.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="脱イオン水用乾燥ランプ"></p> <p>リソグラフィーフロア上では、わずか一つの水分でも、全体の品質を台無しにしてしまいます。脱イオン水を使って洗浄する際、水分を完全に除去できなければ、汚染が発生し、フォトレジストの<a href="https://goldisgood.com">密着性</a>も失われてしまいます。従来の乾燥方法ではウェーハ全体に温度差が生じ、ソフトベークやハードベークのプロセスが乱れてしまいます。また、ヒーターが安定していない場合、そのヒーターから<a href="https://henruite.com">放出</a>される粒子がクリーンルーム内の粒子数を規定値を超えてしまいます。</p>