http://warm-ir-indoor.com/ja/tags/mems/ Recent content in MEMS on Indoor Warm IR Solutions Hugo ja Tue, 21 Jul 2026 01:52:48 +0800 http://warm-ir-indoor.com/ja/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Tue, 21 Jul 2026 01:52:48 +0800 http://warm-ir-indoor.com/ja/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://warm-ir-indoor.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="MEMSセンサウェハ乾燥ヒーター"></p> <p>MEMSウェーハを安全に乾燥させる方法<br> MEMSセンサーのウェーハを乾燥させるのは、かなり微妙な作業です。水を素早く除去する必要がありますが、力を入れすぎると機械的なストレスが発生し、部品が破壊されてしまいます。</p>