http://warm-ir-indoor.com/ko/tags/%EA%B0%90%EC%82%AC/ Recent content in 감사 on Indoor Warm IR Solutions Hugo ko Fri, 03 Jul 2026 03:14:02 +0800 http://warm-ir-indoor.com/ko/posts/energy-audit-for-fab-drying/ Fri, 03 Jul 2026 03:14:02 +0800 http://warm-ir-indoor.com/ko/posts/energy-audit-for-fab-drying/ <p><img src="http://warm-ir-indoor.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="공장 건조 공정의 에너지 감사"></p> <p>팹 내에서 건조 과정은 단순히 청소 후에 이루어지는 작업이 아닙니다. 남아 있는 수분과 불균일한 열은 리소그래피 공정의 정확성을 해치고 포토레지스트의 특성을 손상시킬 수 있습니다. 오븐이 전체 영역에 일정한 온도를 유지하지 못하면, 가장자리 부분에 문제가 생기거나, CD의 형태가 변형됩니다. 이로 인해 폐기물이 발생하고 재작업이 필요해집니다. 또한 재가열 과정에서 추가적인 에너지가 소모됩니다.</p>