http://warm-ir-indoor.com/ko/tags/%EA%B5%AC%EC%97%AD%ED%99%94%EB%90%9C/ Recent content in 구역화된 on Indoor Warm IR Solutions Hugo ko Tue, 09 Jun 2026 01:03:40 +0800 http://warm-ir-indoor.com/ko/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ Tue, 09 Jun 2026 01:03:40 +0800 http://warm-ir-indoor.com/ko/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ <p><img src="http://warm-ir-indoor.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="고급 웨이퍼 제조를 위한 구역별 난방"></p> <p>리소그래피 공정에서는 포토레지스트 소프트 베이크 중 0.3°C의 온도 편차가 식각 공정을 거쳐 라인 폭 편차로 이어지며 수율 손실로 직결될 수 있다. 열적 한계는 두 번째 기회를 주지 않는다. 우리는 첨단 웨이퍼 팹을 위해 존별 가열을 설계하여 웨이퍼 표면 전체와 프로세스 창 내에서 온도를 정확하게 유지한다.</p>