http://warm-ir-indoor.com/ko/tags/%EB%AC%BC/ Recent content in 물 on Indoor Warm IR Solutions Hugo ko Fri, 19 Jun 2026 02:18:05 +0800 http://warm-ir-indoor.com/ko/posts/deionized-water-drying-lamp/ Fri, 19 Jun 2026 02:18:05 +0800 http://warm-ir-indoor.com/ko/posts/deionized-water-drying-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-indoor.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="탈이온수 건조 램프"></p> <p>위조된 웨이퍼의 경우, 단 한 방울의 물만으로도 전체 웨이퍼가 망가질 수 있습니다. 따라서 이온화된 물을 사용해 깨끗하게 건조시켜야 합니다. 만약 수분을 완전히 제거하지 못한다면 오염이 발생할 수밖에 없으며, 그러면 포토레지스트의 접착력도 떨어집니다. 기존의 건조 방식은 웨이퍼 표면에 온도 차이를 만들어내는데, 이로 인해 소프트 베이크 및 하드 베이크 과정에 문제가 생깁니다. 또한 히터의 안정성이 떨어지면 그로 인해 발생하는 입자들이 클린룸 내의 입자 수치를 기준치를 초과하게 만듭니다.</p>