http://warm-ir-indoor.com/ko/tags/ic/ Recent content in IC on Indoor Warm IR Solutions Hugo ko Thu, 18 Jun 2026 01:08:55 +0800 http://warm-ir-indoor.com/ko/posts/compact-infrared-dryer-for-ic/ Thu, 18 Jun 2026 01:08:55 +0800 http://warm-ir-indoor.com/ko/posts/compact-infrared-dryer-for-ic/ <p><img src="http://warm-ir-indoor.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="IC용 컴팩트형 적외선 건조기"></p> <p>리소그래피 공정에서 포토레지스트를 건조시키는 작업은 단순한 단계에 불과한 것이 아닙니다. 이는 결코 간과할 수 없는 중요한 열 관리 과정입니다. 소프트 베이크나 하드 베이크 과정에서 약간의 온도 변동만 있어도 제품의 크기 제어에 문제가 생기고, 웨이퍼의 측면 형태도 변질됩니다. 기존의 오븐들은 열 용량이 크고, 온도 상승 속도가 느리며, 입자가 발생할 가능성도 항상 존재합니다. 반면, IC용으로 설계된 컴팩트한 적외선 건조기는 이러한 문제들을 해결해줍니다.</p>