Mengelakkan Bahaya Semasa Memanaskan Wafer Di Sekitar Bahan Kimia Volatil
Sejujurnya, memanaskan wafer di kawasan pembersihan bahan kimia itu ibarat bermain dengan api. Terdapat wap-wap mudah terbakar yang berkumpul di sekelilingnya, dan peralatan pemanas pula berada tepat di tengah-tengahnya. Jika kita menggunakan lampu inframerah biasa, kita sebenarnya sedang menarik bencana ke atas diri sendiri.
Kita telah menemukan cara yang lebih baik. Daripada membiarkan elemen pemanas terdedah kepada faktor-faktor luaran, kita balutkannya dengan bahan khas. Ini merupakan cara untuk mengawal jarak antara sumber haba dan bahan kimia tersebut.
Kuncinya ialah lapisan pelindung tersebut
Kita meletakkan lampu inframerah di dalam kaca kuarsa berkualiti tinggi atau kaca khusus. Ia berfungsi sebagai pelindung yang menghalang bahan kimia volatil daripada menyentuh permukaan lampu yang panas. Tanpa lapisan pelindung ini, sedikit kebocoran saja sudah cukup untuk mencetuskan kebakaran. Dengan cara ini, kita boleh menggunakan lampu pada tahap kuasa maksimum tanpa perlu risau akan kemungkinan berlakunya kebakaran. Ini merupakan penyelesaian yang sangat baik.
Mengawal pengaruh haba
Keselamatan bukan hanya berkaitan dengan lapisan pelindung sahaja. Ia juga berkaitan dengan arah aliran haba tersebut. Kita menggunakan pemancar inframerah gelombang pendek kerana ia lebih tepat. Tenaga haba akan masuk terus ke dalam wafer, tanpa membuang masa untuk memanaskan udara atau badan mesin. Ini memastikan bahagian luar lapisan kaca tetap sejuk. Wafer akan mendapat haba yang diperlukan, tetapi udara di sekelilingnya tetap berada pada suhu yang selamat.
Kelemahan kaedah ini
Namun, penggunaan lapisan kaca ini akan mengurangkan kecekapan pemanasan sedikit. Sebahagian daripada haba tidak dapat sampai ke wafer. Untuk mengatasi masalah ini, kita mungkin perlu meningkatkan kuasa lampu atau mendekatkannya sedikit lagi ke wafer. Namun, pastikan sistem pengudaraan berfungsi dengan baik. Jika sistem pengudaraan tidak berfungsi dengan baik, masih ada kemungkinan berlakunya “kawasan panas”.
Untuk lebih yakin, pasanglah penghadang haba khusus. Dengan cara ini, jika pam gagal berfungsi, sistem akan mati secara automatik, dan tidak akan berlaku overheating. Cara ini simple, selamat, dan membolehkan kita tidur dengan tenang pada waktu malam.