Op de productieafdeling weet je natuurlijk hoe het werkt: een verschil van 0,3°C tijdens het verhitten van de fotoresist kan ertoe leiden dat de precisie van het proces met nanometers afwijkt. Dat kan grote kosten met zich meebrengen. De verwarmingselementen van Evatec zijn zo ontworpen dat ze dit soort afwijkingen voorkomen, nog voordat ze optreden.
Wat echt belangrijk is Wij gebruiken korte golflengte-NIR-kwarts-emitteren met een gesloten controlecyclus. Hierdoor blijft de thermische uniformiteit op het niveau van de wafer op ±0,1°C. De reactietijd is minder dan 200 ms, zodat de ingestelde waarden snel worden bereikt – zonder dat er sprake is van overschotssignalen die schade kunnen veroorzaken aan de film. Het lichtbuisje is geschikt voor gebruik in een schone ruimte van klasse 1–100. Dankzij het ontwerp dat vuil tegenhoudt, blijft de kwaliteit constant, zelfs na lange bedrijfsuren. De uitgangssterkte blijft stabiel gedurende meer dan 5.000 uur, met een afwijking van minder dan 5%.
Waarom dit belangrijk is in de lithografie en verwerking van fotoresist Bij lithografie en de verwerking van fotoresist spelen de temperatuurwaarden een cruciale rol voor de precisie en de hechting van de materialen. Evatec zorgt ervoor dat de verhittingstemperatuur consistent is, zodat de kwaliteit van de producten over verschillende batches heen constant blijft. De warmte is snel en stabiel, waardoor de procesduur wordt verkort en de energieverbruik per wafer wordt verminderd.
Op verpakkingslijnen zorgt dezelfde precisie ervoor dat het harden van polymeren stabiel verloopt. Dit leidt tot minder fouten en minder herwerkingswerk. Hierdoor zijn er minder afwijkingen, minder defecte producten en kan de productie beter worden gepland.
Wat je nodig hebt om alles op orde te houden De lamp past gemakkelijk in de Evatec-verwarmers, maar er is wel een stabiele stroomvoorziening en zuivere elektrische contactpunten nodig om de controlecyclus nauwkeurig te houden. Het materiaal van de chuck en de emissiviteit zijn ook belangrijk. We hebben handleidingen beschikbaar voor aluminium-, keramische en gecoate oppervlakken.
Het is belangrijk om de lamp kwartaalsgewijs te kalibreren en jaarlijks te controleren. Dit zorgt ervoor dat de uniformiteit goed blijft en dat het aantal deeltjes onder controle blijft.