Bij de redistributie van componenten gaat het vooral om het beheersen van de temperatuur. Er kan één ‘hotspot’ ontstaan wanneer het epoxymengsel hardt, of er kan sprake zijn van afwijkingen tijdens het bakken van de fotoresistentie. Hierdoor wordt het moeilijk om de breedte van de lijnen en de vlakheid van de oppervlakken onder controle te houden. De heater moet een constante temperatuur leveren – voor elke chip, elke lading en elke werksessie.
Wat echt belangrijk is
We hebben de heater ontworpen met behulp van kortegolflange infrarode halogeenkwartsemitters. Hierdoor wordt de verwarming snel opgewekt, zodat de temperatuur nauwkeurig kan worden geregeld. In de actieve zone is de uniformiteit ±0,1°C, gemeten op naakt silicium met thermokoppels. De reactietijd is maar enkele seconden, wat belangrijk is wanneer er sprake is van nauwkeurige controle tijdens het bakken. Een zuivere werkomgeving (klasse 1–100) wordt bereikt door een ontwerp dat minimale uitstoot van gassen bevordert en geen deeltjes genereert tijdens het gebruik. In de praktijk kan de heater 24/7 draaien, met duizenden uren tussen bijbehorende onderhoudswerkzaamheden.
Waarom het werkt in de productie
Tijdens de redistributie wordt de fotoresistentie gebakken, het underfill wordt gehard en de bumpers worden verwerkt. Elke stap is cruciaal voor de kwaliteit van de producten. De heater zorgt ervoor dat de temperatuur stabiel blijft, zodat de afmetingen van de componenten binnen de normen vallen en er minimale holtes in het underfill zijn. Een hoge uniformiteit zorgt er bovendien voor dat er minder defecte producten ontstaan. De energieverbruik neemt af, omdat de kwartsemitters alleen het gewenste gebied verwarmen, en niet de hele ruimte. Het resultaat is meer goede chips per plaat, minder herwerkzaamheden en meer beschikbare tijd voor productie.
Wat je van tevoren moet regelen
De heater kan worden geïntegreerd in bestaande coating- en bakapparaten, maar de afmetingen van de heater moeten overeenkomen met die van de apparaten. Er is ook een aparte stroomvoorziening nodig, evenals shielding tegen elektromagnetische interferentie in gevoelige gebieden. Wanneer de temperatuur boven de 250°C komt, moet je oppassen voor problemen met de interface tussen kwarts en keramiek. We leveren hiervoor een curve die de maximale temperatuur aangeeft. Plan de integratie dus op tijd, zodat het proces soepel kan verlopen.