Lâmpada de aquecimento do evaporador Evatec

Thu, 25 Jun 2026 01:24:19 +0800

Na linha de produção, você sabe como funciona o processo. Uma variação de 0,3°C durante o processo de secagem do fotoresist pode causar desvios de alguns nanômetros, o que acaba custando muito caro. As lâmpadas de aquecimento da Evatec são projetadas para evitar esses desvios desde o início.

O que realmente importa Usamos emissores de ondas curtas de infravermelho em quartzo, com controle em circuito fechado. Isso permite que a uniformidade térmica na superfície do wafer fique entre ±0,1°C. A resposta é inferior a 200 ms, o que significa que as alterações nos parâmetros de controle são rápidas – sem superaquecimento que possa danificar os materiais. O corpo da lâmpada é compatível com ambientes de clareza classe 1–100, e seu design controla as partículas presentes no ar, evitando contaminação durante longos períodos de uso. A saída de calor permanece estável por mais de 5.000 horas, com desvios inferiores a 5%.

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Lâmpada de aquecimento do evaporador Evatec