На этапе литографии процедура просушки фотополимера – это не просто ещё один этап в производственном процессе; это важный элемент термического контроля, который нельзя игнорировать. Даже небольшое отклонение в температуре во время просушки может повлиять на точность контроля размеров деталей и на форму их боковых стенок. Традиционные печи имеют большую теплоемкость, медленную скорость нагрева, а также риск появления частиц воздуха. Компактный инфракрасный сушильник для ИС создан для того, чтобы устранить все эти проблемы.
Что действительно важно Мы используем излучатели в диапазоне ближнего инфракрасного света без использования галогенов. Это позволяет быстро нагреть поверхность кристалла до нужной температуры – менее 10 секунд. Равномерность температуры по всей поверхности кристалла составляет ±0,1°C. Повторяемость температуры при каждой процедуре просушки составляет ±0,2°C, что обеспечивает высокую точность процесса просушки фотополимера. Устройство подходит для использования в чистых комнатах класса 1–100; оно имеет герметичные кварцевые окна и систему вентиляции, которая исключает появление частиц воздуха во время работы. Управление осуществляется с помощью системы PID; также есть возможность использования стандартов SECS/GEM для контроля параметров процесса.
Почему это устройство подходит для использования в производственных цепочках Вы работаете с кристаллами размером 200 мм и 300 мм, имеете тонкие слои фотополимера, а также строгие требования к температурному режиму. Этот сушильник позволяет быстро нагреть кристалл без перегрева, что сокращает время процесса и экономит энергию. Устройство можно использовать как в составе автоматизированных систем, так и как отдельное устройство. Его размеры достаточно малы, чтобы не занимать много места. Это позволяет снизить количество бракованных изделий, улучшить точность размеров деталей и предсказать уровень производства. Надежность устройства обеспечивается за счет десятков тысяч циклов работы; срок службы излучателей позволяет использовать устройство круглосуточно, а время на техническое обслуживание минимально.
Детали, которые обеспечивают точность работы устройства Ближнее инфракрасное излучение позволяет быстро нагреть кристалл, но это также означает, что необходимо учитывать факторы теплового взаимодействия. Чтобы обеспечить надежное соприкосновение кристалла с устройством, мы предлагаем как стандартные, так и специальные зажимы. Необходимо провести короткий тестовый запуск для настройки скорости нагрева и устранения ошибок. Для работы устройства требуется 110–240 В, сжатый воздух и система вентиляции. Однако перед установкой необходимо проверить местное напряжение и давление в чистой комнате.