Компактный инфракрасный сушилка для ИС

Thu, 18 Jun 2026 01:08:55 +0800

На этапе литографии процедура просушки фотополимера – это не просто ещё один этап в производственном процессе; это важный элемент термического контроля, который нельзя игнорировать. Даже небольшое отклонение в температуре во время просушки может повлиять на точность контроля размеров деталей и на форму их боковых стенок. Традиционные печи имеют большую теплоемкость, медленную скорость нагрева, а также риск появления частиц воздуха. Компактный инфракрасный сушильник для ИС создан для того, чтобы устранить все эти проблемы.

Что действительно важно Мы используем излучатели в диапазоне ближнего инфракрасного света без использования галогенов. Это позволяет быстро нагреть поверхность кристалла до нужной температуры – менее 10 секунд. Равномерность температуры по всей поверхности кристалла составляет ±0,1°C. Повторяемость температуры при каждой процедуре просушки составляет ±0,2°C, что обеспечивает высокую точность процесса просушки фотополимера. Устройство подходит для использования в чистых комнатах класса 1–100; оно имеет герметичные кварцевые окна и систему вентиляции, которая исключает появление частиц воздуха во время работы. Управление осуществляется с помощью системы PID; также есть возможность использования стандартов SECS/GEM для контроля параметров процесса.

IC on Indoor Warm IR Solutions

Компактный инфракрасный сушилка для ИС