ในกระบวนการพิมพ์แผ่นวงจรบนแผ่นซิลิคอนนั้น การอบแผ่นโฟโตเรสิสต์ไม่ใช่เพียงขั้นตอนหนึ่งเท่านั้น แต่ยังเป็นส่วนสำคัญที่ไม่สามารถมองข้ามได้เลย การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิเพียงครึ่งองศาก็อาจส่งผลกระทบต่อควบคุมขนาดของแผ่นวงจรได้ และอาจทำให้รูปร่างของผนังด้านข้างเปลี่ยนไปด้วย เตาอบแบบดั้งเดิมมีข้อเสียคือมีมวลความร้อนสูง อัตราการเพิ่มอุณหภูมิช้า และยังมีความเสี่ยงจากฝุ่นละอองอีกด้วย เตาอบอินฟราเรดแบบพกพาสำหรับ IC ถูกออกแบบมาเพื่อขจัดปัญหาเหล่านี้ออกไป
สิ่งที่สำคัญภายในเครื่อง
เครื่องนี้ใช้หลอดกำเนิดแสงอินฟราเรดชนิดนิวอินฟราเรด (NIR) โดยมีการออกแบบให้ไม่มีฮาโลเจน ทำให้สามารถส่งพลังงานเข้าไปในแผ่นวงจรได้โดยตรง ทำให้สามารถทำให้อุณหภูมิสม่ำเสมอได้ภายในเวลาต่ำกว่า 10 วินาที โดยมีความคลาดเคลื่อนเพียง ±0.1°C เท่านั้น นอกจากนี้ ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิระหว่างการอบแต่ละครั้งอยู่ที่ ±0.2°C ดังนั้นกระบวนการอบแผ่นโฟโตเรสิสต์จึงมีความแม่นยำสูง เครื่องนี้สามารถใช้งานได้ในห้องควบคุมความสะอาดระดับ Class 1–100 โดยมีหน้าต่างที่ทำจากควอตซ์ และระบบระบายอากาศที่ช่วยลดการเกิดฝุ่นละอองได้อย่างมีประสิทธิภาพ การควบคุมอุณหภูมิทำได้โดยใช้ระบบ PID พร้อมความสามารถในการตรวจสอบข้อมูลการอบได้ตลอดเวลา
เหตุใดเครื่องนี้จึงเหมาะสมกับกระบวนการผลิต
คุณสามารถใช้เครื่องนี้กับแผ่นวงจรขนาด 200 มม. และ 300 มม. รวมถึงแผ่นโฟโตเรสิสต์ที่มีความหนาน้อยได้ เนื่องจากเครื่องนี้สามารถเพิ่มอุณหภูมิได้อย่างรวดเร็วโดยไม่มีความคลาดเคลื่อน ทำให้ลดเวลาการอบและประหยัดพลังงานได้ นอกจากนี้ เครื่องนี้ยังสามารถติดตั้งได้ทั้งในเครื่องมือที่มีอยู่เดิมหรือแยกต่างหาก และมีขนาดกะทัดรัดพอที่จะไม่กินพื้นที่มากนัก คุณจะได้ผลผลิตที่มีคุณภาพสูง และสามารถวางแผนการผลิตได้อย่างมีประสิทธิภาพ นอกจากนี้ เครื่องนี้ยังมีความน่าเชื่อถือสูง สามารถใช้งานได้หลายหมื่นครั้ง และมีอายุการใช้งานยาวนานพอที่จะใช้งานได้ 24/7 โดยไม่ต้องมีการบำรุงรักษาบ่อยนัก
รายละเอียดที่สำคัญ
อินฟราเรดมีความสามารถในการให้ความร้อนได้อย่างรวดเร็ว ดังนั้นจึงจำเป็นต้องให้ความสำคัญกับการควบคุมอุณหภูมิด้วย แผ่นยึดแผ่นวงจรจะต้องเข้ากันได้ดีกับด้านหลังของแผ่นวงจร เรามีแผ่นยึดมาตรฐานและแผ่นยึดที่ออกแบบมาเฉพาะเพื่อให้ได้การยึดที่แม่นยำ ควรมีการทดสอบการใช้งานเบื้องต้นเพื่อปรับอัตราการเพิ่มอุณหภูมิให้เหมาะสมกับแผ่นโฟโตเรสิสต์ที่ใช้ ส่วนสายไฟฟ้านั้นก็เรียบง่ายเพียงแค่ 110–240 โวลต์ อากาศอัด และระบบระบายอากาศเท่านั้น แต่ควรตรวจสอบแรงดันไฟฟ้าและความดันอากาศในห้องควบคุมความสะอาดก่อนการติดตั้งด้วย