ในขั้นตอนการแจกจ่ายพลังงานนั้น สิ่งสำคัญคือการควบคุมอุณหภูมิ อาจเกิดจุดร้อนขึ้นได้ในช่วงที่วัสดุอีพ็อกซี่กำลังแข็งตัว หรืออาจเกิดการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิขณะที่วัสดุโฟโต้เรซิสต์กำลังถูกอบ ซึ่งจะส่งผลให้เกิดปัญหาเรื่องความกว้างของเส้นทางการไหลของพลังงาน และความสม่ำเสมอของรูปร่างของชิ้นส่วนต่างๆ ดังนั้น เครื่องทำความร้อนจึงต้องสามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างสม่ำเสมอ ไม่ว่าจะเป็นในแต่ละชิ้นส่วน แต่ละชุดผลิตภัณฑ์ หรือแต่ละช่วงเวลาการผลิต
สิ่งที่สำคัญจริงๆ เราออกแบบเครื่องทำความร้อนสำหรับการแจกจ่ายพลังงานโดยใช้เครื่องกำเนิดความร้อนแบบอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้น ซึ่งเป็นวิธีการทำความร้อนที่รวดเร็ว ทำให้สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิในบริเวณที่มีการใช้งานอยู่อยู่ที่ ±0.1°C โดยวัดจากซิลิคอนเปล่าที่มีเซ็นเซอร์วัดอุณหภูมิอยู่
เวลาตอบสนองของเครื่องทำความร้อนอยู่ที่หลายวินาที ซึ่งเป็นสิ่งสำคัญเมื่อต้องควบคุมอุณหภูมิอย่างเข้มงวดในกระบวนการอบต่างๆ ระบบห้องสะอาดระดับ 1–100 สามารถทำงานได้ด้วยการออกแบบที่ช่วยลดการปล่อยก๊าซ และไม่ก่อให้เกิดอนุภาคใดๆ ในระหว่างการทำงาน ในสภาพการใช้งานจริง เครื่องนี้สามารถทำงานได้ตลอด 24/7 โดยไม่จำเป็นต้องบำรุงรักษาเป็นเวลาหลายพันชั่วโมง
เหตุผลที่เครื่องนี้เหมาะสำหรับการผลิต ในขั้นตอนการแจกจ่ายพลังงานนั้น จะมีการอบวัสดุโฟโต้เรซิสต์ การทำให้วัสดุอันเดอร์ฟิลแข็งตัว และการหลอมละลายชิ้นส่วนต่างๆ ซึ่งแต่ละขั้นตอนล้วนมีผลต่อคุณภาพของผลิตภัณฑ์ เครื่องทำความร้อนจะช่วยรักษาอุณหภูมิให้สม่ำเสมอ ทำให้ขนาดของชิ้นส่วนอยู่ในเกณฑ์ที่กำหนด และลดจำนวนช่องว่างในวัสดุอันเดอร์ฟิลให้น้อยที่สุด
ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิจะช่วยลดจำนวนชิ้นส่วนที่ไม่ผ่านมาตรฐาน และความสามารถในการทำงานซ้ำได้ทำให้การถ่ายโอนชิ้นส่วนจากชุดหนึ่งไปยังอีกชุดหนึ่งทำได้ง่ายขึ้น นอกจากนี้ การใช้พลังงานก็ลดลง เพราะเครื่องกำเนิดความร้อนจะทำความร้อนเฉพาะบริเวณที่ต้องการเท่านั้น ไม่ใช่ทั้งห้อง ผลลัพธ์ก็คือ จำนวนชิ้นส่วนที่มีคุณภาพดีเพิ่มขึ้น จำนวนชิ้นส่วนที่ต้องทำใหม่ลดลง และสามารถวางแผนการทำงานได้อย่างมีประสิทธิภาพ
สิ่งที่ต้องคำนึงถึงก่อนใช้งาน เครื่องทำความร้อนนี้สามารถติดตั้งได้ในระบบการเคลือบ/อบที่มีอยู่แล้ว แต่ขนาดของเครื่องทำความร้อนและช่องทางการไหลของพลังงานจะต้องเหมาะสมกับอุปกรณ์ที่ใช้งานด้วย นอกจากนี้ ยังจำเป็นต้องมีระบบจ่ายไฟที่เหมาะสม และมีการป้องกันสัญญาณรบกวนในบริเวณที่มีความไวต่อสัญญาณรบกวน
เมื่ออุณหภูมิสูงกว่า 250°C ควรให้ความสำคัญกับจุดต่อระหว่างควอตซ์กับเซรามิกด้วย เรามีข้อมูลเกี่ยวกับการลดอัตราการสูญเสียพลังงานให้ด้วย ควรวางแผนการติดตั้งล่วงหน้า เพื่อให้สามารถเริ่มใช้งานได้อย่างรวดเร็ว