Lityografi Zemininde
95°C yumuşak pişirme opsiyonel değil - bu bir spesifikasyon. O sıcaklığın ±0.5°C kaymasına izin verirseniz, fotoresist profili kayar. Kontrol etmek için çabaladığınız hat genişliği bozulur. İhtiyacınız olan, anında ulaşan, sabit tutan ve temiz odaya parçacık bırakmayan bir ısıtmadır.
Motorun Altında Önemli Olanlar
Hızlı tepki veren infrared ısıtıcı ampuller kullanıyoruz - yüksek saflıkta kuvars bir zar içinde kısa dalga halojen elemanlar. Milisaniyeler içinde sıcaklığa ulaşırlar, bu da size sıkı kapalı döngü kontrolü sağlar. Wafer düzeyindeki uniformite, pişirme yüzeyi boyunca ±0.1°C içinde kalır. Filament geometrisi ve reflektör düzeni, sıcak noktaları ve kenar kaymasını ortadan kaldıracak şekilde tasarlanmıştır, böylece her die aynı termal bütçe ulaşır. Bu ampuller, Sınıf 1-100 temiz odalar için üretilmiştir ve uzun süreli çalışmalarda yerinde izleme ile sıfır parçacık üretimi doğrulanmaktadır.
Fotoresist İşleminde Neden Başarılıdır
Yumuşak ve sert pişirmede, tekrar edilebilirlik puan tablosudur. Hızlı tepki, ıslanma rampasını kısaltır, böylece döngü süresinden feragat etmeden profil kontrolünü sağlarsınız. Temiz odaya uyumlu malzemeler ve sağlam contalar, gaz çıkışı ve kontaminasyonu dışarıda tutar - parçacık sayıları düz kalır ve aletin çalışma süresi artar. Ayrıca, ısıtıcı talep üzerine ısı sağladığı ve pişirmeler arasında hızlı soğuduğu için daha az enerji kullanırsınız ve termal eylemsizlik ile israfı azaltırsınız.
Planlamanız Gerekenler
Kurulum, aracı eşleştirmeye dayanır: soket, voltaj ve açıklık geometrisi. Reflektörler eşleşmezse veya armatürler yetersiz boyutlandırılırsa, tutarsızlık göreceksiniz. Bir denge bekleyin: zirve güç yoğunluğu size hız sağlar, ancak stabil soğutma ve temiz elektriksel bağlantılar talep eder. Her ampul için boyutsal çizimler ve kalibrasyon haritaları sağlıyoruz, böylece tüm termal yapıyı yeniden nitelendirmeden entegre edebilirsiniz.