Isı Kaybını Durdurun: Wafleri Isıtmak İçin Daha İyi Bir Yöntem
Silikon wafleri ısıtmak tamamen hassasiyet gerektirir. Ancak sorun şu ki: Standart Kızılötesi lambalar oldukça verimsizdir. Isıyı her yöne yayıyorlar; yani 360 dereceye kadar radyasyon oluşuyor.
Küçük bir yarıiletken odasında bu ısı sadece wafta kalmaz; aynı zamanda odanın iç duvarlarına da çarpar. Kısa süre içinde ekipmanın dış kısmı aşırı derecede ısınır. Bu hem enerji israfıdır, hem de makinenin yanında çalışmak zorunda olan kişiler için ciddi bir güvenlik riskidir.
“Sprey etkisini” nasıl ortadan kaldırıyoruz?
Kvartz tüpünü boş bırakmıyoruz. Bunun yerine özel yansıtıcılar ve kaplamalar kullanarak kızılötesi enerjiyi tam da istenen yere yönlendiriyoruz. Bunu, bir ampul yerine el feneri kullanmak gibi düşünebilirsiniz. Işığın hüzmesini daraltarak, fotonların wafta temas etmesini sağlıyoruz; böylece ekipmanın dış kısmı ısınmıyor.
Değiş tokuş (çünkü her zaman bir bedeli vardır)
Avantajı şu: Ekipmanın iç kısımları erimeden watt yoğunluğunu artırabilirsiniz. Böylece wafler çok daha hızlı ısınır. Ancak dikkatli olmalısınız. Işığın hüzmesini daralttığınızda ısı inanılmaz derecede yoğunlaşır. Eğer wafer biraz bile merkezinden saparsa veya Z ekseni yüksekliği doğru değilse, yüzey üzerinde eşitsiz ısı dağılımı olur. Bu durumu kontrol altına alabilmek için PID kontrol cihazlarının mükemmel şekilde ayarlanması gerekir.
Her şeyi serin ve temiz tutun
Duvarlar serin kaldığında her şey daha uzun süre dayanır. Genellikle contaların zarar görmesine veya bileşenlerin形变 olmasına neden olan “sıcak duvar” sorunu ortadan kalkar. Sistem daha stabil hale gelir.
Önemli bir ipucu: Yansıtıcıları her zaman temiz tutun.
Kulağa basit geliyor, ancak küçük bir toz parçası bile ışığın dağılmasına neden olabilir. Bu durumda tüm ısı tekrar odanın duvarlarına geri döner. Optik bileşenleri temiz tutarsanız sistem verimli kalır.