http://warm-ir-indoor.com/tr/tags/gelecek/ Recent content in Gelecek on Indoor Warm IR Solutions Hugo tr Fri, 26 Jun 2026 01:28:03 +0800 http://warm-ir-indoor.com/tr/posts/future-of-semiconductor-heating-tech/ Fri, 26 Jun 2026 01:28:03 +0800 http://warm-ir-indoor.com/tr/posts/future-of-semiconductor-heating-tech/ <p><img src="http://warm-ir-indoor.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Yarı iletken ısıtma teknolojisinin geleceği"></p> <p>Üretim tesislerinde, fotoresistin pişirilmesi sırasında meydana gelen 0,5°C’lik bir sıcaklık değişimi bile tüm ürün partisini bozacak kadar yeterlidir. Wafer seviyesindeki termal kontrol, bir öneri değil; zorunluluktur. Isıtma platformunu da bu gerçeğe göre tasarladık.</p> <p>Teknik açıdan önemli olanlar şunlardır: Yakın kızılötesi (NIR) emittör dizisi, aktif bölgede wafer seviyesindeki sıcaklığı ±0,1°C aralığında sabit tutar. Ayrıca, parti başına sıcaklık düzenliliği de ±0,2°C civarındadır. Sıcaklık artış hızı 10°C/saat olup, aşırı sıcaklık oluşmaz. Böylece hem yumuşak pişirme hem de sert pişirme işlemlerinde sıcaklık profili korunur. Sistem, Temiz Oda Sınıfı 1–100 için uygundur. Sıcak bölge, yüzey kirliliğini 1 parça/wafer-pass’in altında tutacak şekilde tasarlanmıştır. Sistem sürekli olarak çalışır ve MTBF değeri 50.000 saatin üzerindedir. Isıtıcı yapısı ise 5.000 saatten fazla süre boyunca %5’ten daha az yoğunluk değişikliği ile stabil kalır.</p>