На етапі літографії процес висушування фотополімеру є не просто ще одним кроком у процесі виробництва – це важлива частина термального контролю, яку неможливо ігнорувати. Навіть незначна зміна температури під час висушування може призвести до порушення контролю за критичними розмірами та зміни профілю стінок чипа. Традиційні печі мають велику термічну ємність, повільну швидкість нагріву, а також постійний ризик утворення частинок пилу. Компактний інфрачервоний сушар для ІЧ-чипів розроблений саме для усунення цих проблем.
Що є важливим у його конструкції
У цьому сушарі використовуються джерела ближнього інфрачервоного випромінювання без галогенів; енергія передається безпосередньо на поверхню чипа. Це дозволяє досягти стабілізації температури менше ніж за 10 секунд, а єднаковість температури по всій поверхні чипа становить ±0,1°C. Повторюваність температури між окремими процедурами сушіння становить ±0,2°C, тож параметри процесу фотополімеризації залишаються точними. Сушара підходить для приміщень класу чистоти 1–100; вона має герметичні кварцові вікна та систему відведення повітря, яка запобігає утворенню частинок пилу під час роботи. Контроль температури здійснюється за допомогою системи PID; також є можливість керування процесом через формат SECS/GEM. Це дозволяє точно контролювати параметри процесу сушіння.
Чому цей сушар підходить для використання
Ви використовуєте чипи діаметром 200 мм та 300 мм, тонкі шари фотополімеру, а також маєте обмежені термальні параметри, які не дозволяють значних відхилень температури. Цей сушар швидко нагрівається без значних відхилень, що дозволяє скоротити час процесу сушіння та зменшити споживання енергії. Він може використовуватися як в комплекті з іншим обладнанням, так і як окремий пристрій; його розміри достатньо малі, щоб не займати багато місця. Це дозволяє зменшити кількість бракованих продуктів, покращити їх якість та точно планувати обсяги виробництва. Надійність сушари забезпечується завдяки можливості її безперервної роботи протягом десятків тисяч циклів сушіння.
Деталі, які забезпечують надійність
Інфрачервоне випромінювання швидко підвищує температуру, тож необхідно звертати увагу на ефективність теплопередачі. Чутливість пристрою до температури поверхні чипа має бути оптимальною – ми пропонуємо як стандартні, так і індивідуальні варіанти чутливих елементів для забезпечення точного контакту. Потрібно провести короткий тестовий запуск, щоб налаштувати параметри нагріву та уникнути значних відхилень температури. Для роботи сушари потрібні електроживлення 110–240 В, стиснене повітря та система відведення повітря; перед встановленням необхідно перевірити місцеву напругу та рівень тиску в приміщенні.