http://warm-ir-indoor.com/uk/tags/%D1%80%D0%BE%D0%B7%D1%88%D0%B8%D1%80%D0%B5%D0%BD%D0%B8%D0%B9/ Recent content in Розширений on Indoor Warm IR Solutions Hugo uk Tue, 09 Jun 2026 01:03:40 +0800 http://warm-ir-indoor.com/uk/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ Tue, 09 Jun 2026 01:03:40 +0800 http://warm-ir-indoor.com/uk/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ <p><img src="http://warm-ir-indoor.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="Зональне опалення для передових фабрик з виготовлення пластин"></p> <p>На ділянці літорафії відхилення температури на 0,3°C під час софт-бейку фоторезисту може викликати зміни ширини лінії під час травлення та привести до втрат виходу продукції. Термічний бюджет не дає другого шансу. Ми розробили зоноване нагрівання для передових фабрик з виробництва пластин, щоб підтримувати температуру там, де це необхідно — на пластині, по всій поверхні та в межах технологічного вікна.</p> <p>Технічно важливо мати контроль, якому можна довіряти. Платформа використовує інфрачервоні елементи короткохвильового спектра з швидкозмінним керуванням по зонах, тому однорідність температури на рівні пластини досягає ±0,1°C по всій площі гарячої плити. Повторюваність температури становить ≤±0,5°C від лоту до лоту, що забезпечує стабільність критичних профілів випікання фоторезисту. Вона працює у чистих приміщеннях класу 1–100 без підвищення кількості частинок — матеріали з низьким внутрішнім виділенням та герметичні термозони забезпечують рівномірність лінії. Забезпечується безперервна робота 24/7 з MTBF, що вимірюється десятками тисяч годин, а обслуговування планується за графіком, а не в аварійному режимі.</p>