Trên sàn lithography, việc nướng mềm ở 95°C không phải là tùy chọn - đó là thông số kỹ thuật. Bạn để nhiệt độ đó dao động ±0,5°C và hồ quang quang học sẽ bị thay đổi. Kiểm soát độ rộng đường dẫn mà bạn lo lắng sẽ bị phá vỡ. Những gì bạn cần là nhiệt độ đạt ngay lập tức, giữ ổn định và không phát thải hạt vào phòng sạch.
Những gì quan trọng bên trong
Chúng tôi sử dụng bóng đèn sưởi hồng ngoại phản ứng nhanh - các yếu tố halogen sóng ngắn bên trong vỏ thạch anh tinh khiết cao. Chúng đạt được nhiệt độ trong milli giây, giúp bạn có khả năng kiểm soát vòng kín chặt chẽ. Độ đồng nhất ở mức wafer giữ trong khoảng ±0,1°C trên bề mặt nướng. Hình học dây tóc và bố trí gương được thiết kế để loại bỏ điểm nóng và cuộn mép, vì vậy mỗi die nhận được ngân sách nhiệt giống nhau. Những bóng đèn này được chế tạo cho phòng sạch loại 1-100, và chúng tôi xác minh không phát sinh hạt với việc giám sát tại chỗ trong các chu kỳ dài.
Tại sao nó hoạt động trong quá trình xử lý photoresist
Trong nướng mềm và nướng cứng, khả năng lặp lại là thang điểm. Phản ứng nhanh rút ngắn thời gian ngâm, vì vậy bạn giảm thời gian chu kỳ mà không đánh đổi kiểm soát hồ quang. Vật liệu tương thích với phòng sạch và các seal chắc chắn giữ cho khí thải và ô nhiễm không xâm nhập - số lượng hạt giữ ổn định, và thời gian hoạt động của thiết bị cũng được duy trì. Bạn cũng sử dụng ít năng lượng hơn, vì bộ gia nhiệt cung cấp nhiệt theo yêu cầu và làm mát nhanh chóng giữa các lần nướng, giảm quán tính nhiệt và lãng phí.
Những gì bạn cần lập kế hoạch cho
Việc lắp đặt phụ thuộc vào việc phù hợp với thiết bị: ổ cắm, điện áp, và hình học khẩu độ. Nếu các gương không phù hợp hoặc các thiết bị quá nhỏ, bạn sẽ thấy sự không đồng nhất. Hãy chuẩn bị cho một sự đánh đổi: mật độ công suất đỉnh mang lại cho bạn tốc độ, nhưng nó yêu cầu làm mát ổn định và tiếp điểm điện sạch. Chúng tôi cung cấp bản vẽ kích thước và bản đồ hiệu chuẩn cho mỗi bóng, để bạn có thể tích hợp mà không cần phải tái đủ điều kiện toàn bộ hệ thống nhiệt.